เครื่องเคลือบผิวตัวอย่าง โดยวิธีสปัตเตอริ่ง เป็นอุปกรณ์สำหรับใช้ในการเคลือบผิวของตัวอย่าง โดยใช้เทคนิคการพ่น (sputter deposition) โลหะลงไปบนผิว เช่น ทองคำ (Au) ทำให้วัสดุมีสมบัติการนําไฟฟ้าที่ดี เพื่อนําไปวิเคราะห์ต่อในเครื่องจุลทรรศน์วิเคราะห์อิเล็กตรอนส่องกราด