เครื่องนับอนุภาค (Airborne Particle Counters) เป็นเครื่องมือสำหรับนับจำนวนอนุภาคในห้องสะอาด ที่มีอัตราการไหลของอากาศไม่น้อยกว่า 28.3 ลิตรต่อนาที ซึ่งสามารถนับอนุภาคขนาด 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0 และ 10.0 ไมคอน โดยนับได้พร้อมกันไม่น้อยกว่า 6 ขนาดอนุภาค